[SEMICON Japan 2022] Vakuum-Ebenen-Heizeinheit - Himeji Rika Co., Ltd.

Dieses Mal möchte ich dieses Vakuumheizgerät vorstellen.
Hier können 15 Halogenstrahler nacheinander unabhängig voneinander angesteuert werden, und dieser kann durch Ziehen eines Vakuums gleichmäßig heizen.

Angeblich wurde hier ein Patent angemeldet, aber eines der Merkmale ist, dass sich der Anschlussdraht außerhalb der Kammer befindet.

Wenn Sie dies also verwenden, können Sie die Dinge gleichmäßig erhitzen.